لیتوگرافی روشی قدیمی برای چاپ تصاویر بر روی نمونه‌های فلزی، سنگی و  چوبی است که اولین بار در سال 1798 میلادی مورداستفاده قرار گرفت و در آغاز بسیار موردتوجه هنرمندان واقع شد.
به گزارش مرکز روابط عمومی و اطلاع‌رسانی معاونت علمی و فناوری ریاست جمهوری؛ نانو لیتوگرافی لیزری یکی از روش‌های فوتولیتو گرافی است، که در آن حداقل ابعاد اجزای ایجادشده بر روی نمونه، از مرتبه نانومتر است. در این روش از مواد با پاسخ نوری مناسب استفاده می‌شود، که ویژگی‌های این مواد ( مانند خواص مکانیکی، شیمیایی، الکتریکی، فیزیکی و ... ) در پاسخ به تغییرات ایجادشده در شرایط محیطی تغییر می‌کند.
همچنین درروش نانو لیتوگرافی لیزری، از مواد پلیمری ( به خاطر قیمت پایین و سهولت در ساخت و کاربرد) استفاده بسیاری می‌شود. این مواد پلیمری به تغییرات دمایی،  ph، ترکیب شیمیایی، نور، قدرت یونی، استرس مکانیکی و پتانسیل الکتریکی واکنش نشان می‌دهند.

فوتولیتو گرافی
پس از سال‌ها پیشرفت، این روش قدیمی به خاطر معایبی که داشت کم‌کم کنار گذاشته شد و به‌جای آن فوتولیتو گرافی وارد عرصه صنعت شد، فوتو لیتوگرافی عبارت است از ساخت یک صفحه چاپی لیتوگراف با استفاده از وسایل فوتوگرافیک که توسط یک شیمیدان فرانسوی ابداع شد.
در این روش با استفاده از یک سامانه اپتیکی خاص، تصویر موردنظر را روی یک ماده را در معرض حلال مناسب قرار می‌دهند. حلال با توجه به نوع ماده حساس به نور، یا بخش‌هایی را که نوردیده است از میان می‌برد یا آنکه بخش‌هایی را که نور به آن نرسیده است حذف می‌کرد. این روش یکی از مهم‌ترین روش‌ها در ساخت مدارات مجتمع الکترونیکی به شمار می‌رود.
پایان پیام/32